Table tournante dans une enceinte climatique, permettant de caractériser et calibrer les capteurs inertiels vibrants fondés sur l’utilisation de microrésonateurs en quartz. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Machine d’insolation de motifs de microrésonateurs par photolithographie. Une lampe à ultraviolet éclaire un wafer en quartz à travers un masque sur lequel sont inscrits les motifs. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Machine d’insolation de motifs de microrésonateurs par photolithographie. Une lampe à ultraviolet éclaire un wafer en quartz à travers un masque sur lequel sont inscrits les motifs. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs sur leur wafer de quartz, en fin de fabrication. Une fois les résonateurs usinés, ils sont excités via les électrodes pour mesurer leur impédance électrique sous air et ensuite sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs sur leur wafer de quartz, en fin de fabrication. Une fois les résonateurs usinés, ils sont excités via les électrodes pour mesurer leur impédance électrique sous air et ensuite sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Cellule en cuivre dans laquelle est placé un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique. Le vide est ensuite fait dans la cellule, elle est scellée et le microrésonateur reste sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.